Brewer Science, Inc., et Arkema sont heureux d’annoncer le passage d’une étape clé dans l’industrialisation des matériaux de haute qualité pour la lithographie par auto-assemblage dirigé (DSA) destinés à la fabrication des composants semi-conducteurs.
Suite à leur partenariat annoncé en octobre 2015, Brewer Science et Arkema ont mené à bien une production à l’échelle pilote de matériaux DSA basée sur la technologie des copolymères bloc d’Arkema et l’expertise industrielle de Brewer Science. Cette étape va permettre de faire passer les matériaux DSA du stade de la recherche à celui de la production à grande échelle. Ces premiers matériaux DSA produits à l’échelle pilote sont à base de polystyrène-polyméthacrylate de méthyle (PS-PMMA) et aident à évaluer les procédés DSA des clients.
« Notre partenariat avec Arkema nous a permis de franchir cette nouvelle étape plus rapidement que ce que nous aurions pu faire chacun de notre côté » explique Dr Daniel Sullivan, Directeur de la Recherche et développement du département Semi-conducteurs de Brewer Science, ajoutant « Nous espérons également pouvoir accélérer les tests de procédés clients. »
« Outre sa flexibilité inhérente, la technologie de mélange BCP assure de meilleures performances en termes de défauts et de cinétique d’organisation. Elle permet également d’accélérer la mise au point de procédés puisque nous pouvons investiguer une plus large gamme de paramètres grâce à notre approche basée sur les mélanges de copolymères à block » précise Ian Cayrefourcq, Directeur Scientifique chez Arkema.
Les deux entreprises vont continuer d’unir leurs forces — plus de 30 ans d’expérience dans les matériaux semi-conducteurs de pointe et les solutions de procédés d’une part et plus de 20 ans dans la technologie et la fabrication BCP de l’autre — afin de d’accélérer l’adoption de la technologie DSA dans la lithographie de nouvelle génération.